標準型DIL31手動位移滑臺
發布時間:2025-06-25 16:15:46點擊量:


標準型DIL31手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導軌與微分頭驅動系統,專為超精密測量與光學調整設計。其零膨脹合金基座配合主動溫控技術,實現±0.002mm重復定位精度,熱穩定性達±0.1μm/℃,適用于光刻機校準、量子實驗等納米級應用場景。
產品特點:
1.納米級精度:預壓交叉滾柱導軌,背隙<0.3μm
2.溫度穩定:主動溫控系統(24小時漂移<0.1μm)
3.無塵設計:真空兼容版本可選(10??Pa)
4.智能監測:內置振動傳感器(靈敏度0.01μm)
5.快速切換:模塊化結構支持電動升級





