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臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺
發(fā)布時間:2025-06-25 16:44:47點(diǎn)擊量:


臺面方型DJU01/DJU11系列手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌與微分頭驅(qū)動系統(tǒng),專為超精密光學(xué)與微納制造設(shè)計。DJU01為標(biāo)準(zhǔn)型(±0.005mm),DJU11為增強(qiáng)型(±0.003mm),配備主動溫控系統(tǒng),熱穩(wěn)定性達(dá)±0.2μm/℃,適用于光刻機(jī)校準(zhǔn)、量子實(shí)驗(yàn)等高精度場景。
產(chǎn)品特點(diǎn):
(1)納米級精度:DJU11采用激光干涉儀校準(zhǔn),分辨率0.001mm
(2)溫度穩(wěn)定:低膨脹合金基座(DJU11主動溫控±0.1℃)
(3)無塵兼容:可選真空版本(10??Pa)
(4)智能監(jiān)測:DJU11內(nèi)置振動傳感器(靈敏度0.1μm)
(5)快速切換:模塊化設(shè)計支持壓電陶瓷驅(qū)動升級




