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微分頭驅動型DIWO1手動位移滑臺

發布時間:2025-06-27 11:43:45點擊量:

微分頭驅動型DIWO1手動位移滑臺(圖1)

微分頭驅動型DIWO1手動位移滑臺(圖2)

高精度微分頭驅動DIWO1手動位移滑臺,分辨率達0.5μm,配備交叉滾柱導軌,重復定位精度±0.002mm。硬質氧化鋁合金主體兼具輕量化與高剛性,適用于超精密光學調整、微納加工定位等亞微米級需求場景,是科研實驗與高端制造的理想微位移平臺。


一、產品特點

·超微米驅動:0.5μm微分頭,支持0.1μm微調(選配)

·零背隙結構:彈性預緊機構消除回程誤差

·熱穩定設計:低熱膨脹材料+隔熱底座接口

·全封閉導軌:防塵密封,適合潔凈環境

·模塊化擴展:支持XYZ多軸串聯


二、性能參數

·分辨率:0.5μm(標配),可選0.1μm高精度微分頭

·重復精度:±0.002mm(20℃恒溫環境)

·最大負載:10kg(水平)/5kg(垂直)

·行程范圍:10-25mm(標準款),可定制50mm

·溫度敏感性:≤0.05μm/℃(配合恒溫底座)

微分頭驅動型DIWO1手動位移滑臺(圖3)

微分頭驅動型DIWO1手動位移滑臺(圖4)

三、核心應用

1.超精密光學元件裝調

2.掃描探針顯微鏡樣品定位

3.微電子封裝設備對準

4.量子實驗裝置微位移控制

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