脈動壓力傳感器工作原理壓力轉換為電信號技術
發布時間：2024-04-18 09:41:22點擊量：
壓力脈動信號的采集任務是由感受壓力并轉換為與壓力成一定關系的電信號輸出的傳感器完成的。適合用于采集壓力脈動信號的兩種傳感器：應變式壓為傳感器和壓阻式壓力傳感器。應變式壓力傳感器在膜片上粘貼有應變片，四片應變片可以將脈動壓力轉換為電信號。一種壓阻式壓力傳感器，通過有限元應力分析求得靈敏度高、線性又好的雙島硅膜片結構；采用雙面對準光刻工藝，各向異性腐蝕微機械加工制硅膜片等新技術，制造出表現好的傳感器。
壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
