MEMS質量流量傳感器在微反應器中的實戰案例？
發布時間：2025-09-25 17:49:20點擊量：
MEMS質量流量傳感器具有體積小、響應快、精度高等優點。它們可以實時監測液體和氣體的流量，提供精確的數據支持。這些傳感器通過微型化的結構，能夠在微反應器的有限空間內進行高效的流量調控和監測，確保反應條件的穩定性。
以下是MEMS質量流量傳感器在微反應器中的實戰案例：
1、生物制藥領域：在基于微流控生物反應器的DNA分析實驗中，利用MEMS流速傳感器可對微流通道中的液體流速進行實時監測和控制，確保DNA樣本在微小通道內按設定的流量和速度傳輸，實現高通量、高精度的DNA分析實驗。
2、精細化工領域：在生產高附加值的精細化工材料的微反應器系統中，橫河電機開發的新型MEMS微流量傳感器，因其與腐蝕性液體接觸的表面采用玻璃材質，傳感元件置于非接觸區域，可抵抗腐蝕性液體，能精確測量微反應器中流體的質量流量，保障生產過程的精準控制。
3、氣體流量控制領域：在生命科學的生物反應器中，微流道MEMS氣體流量芯片可用于控制其中的氣體流量，保證生物反應器中氣體營養物質供應和氣體排出物的均衡，為生物培養和研究提供技術支撐。
