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MEMS傳感器芯片制造,MEMS傳感器通用規(guī)格組件性能!

發(fā)布時間:2023-07-25 14:21:27點擊量:

 由于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件制造的進(jìn)步,此類傳感器已成為具有優(yōu)異性能/成本比的大眾市場產(chǎn)品。TILTIX傾角儀的基本測量組件是嵌入在完全封裝的ASIC中的MEMS傳感器單元。


 通用規(guī)格


 1、傳感器循環(huán)時間:這是基礎(chǔ)傳感器的內(nèi)部循環(huán)時間。5ms的循環(huán)時間意味著位置值每5ms更新一次。


 2、接口周期時間:這是通過通信接口傳輸位置值的周期時間。與傳感器循環(huán)時間(固定值)相比,客戶可以在接口級別輕松調(diào)整接口循環(huán)時間。


 3、絕對精度:絕對精度是在定義的范圍內(nèi)測量位置與實際位置之間的最壞情況偏差。


 4、偏移:當(dāng)傾角儀位于零位時,輸出會出現(xiàn)較小的偏差。這種零電平誤差稱為偏移誤差。


 5、動態(tài)精度:該精度的確定方式與絕對精度相同,只是設(shè)備受到外部振動和加速度的影響。動態(tài)精度是在模擬移動機(jī)器移動環(huán)境的不同設(shè)備上進(jìn)行實驗室測試時確定的。


 所規(guī)定的動態(tài)精度作為參考值;我們建議在您自己的機(jī)器上評估動態(tài)行為,因為振動和沖擊因機(jī)器而異。


 實驗室測試使用以下設(shè)備進(jìn)行:


 1、線性加速度:傳感器在1秒內(nèi)沿一個軸以10 m/s2加速


 2、振動:1-1000 Hz之間的不同振動頻率,力為1g


 3、解決方案:這是盡可能最小的步驟


 4、滯后:滯后的定義是系統(tǒng)的輸出值不僅取決于實際輸入,還取決于過去的輸入。對于傾斜儀來說,這意味著測量的傾斜角度也取決于過去的位置。無論傾斜儀傾斜0°到10°還是20°到10°,都會有微小的差異。這種差異通過滯后現(xiàn)象來描述。


 5、溫度梯度:該值描述了溫度變化時測量的傾斜角度的變化。如果傾斜儀處于靜止位置,溫度降低或升高,輸出值也會根據(jù)溫度梯度而變化。


 6、穩(wěn)定時間:這是描述系統(tǒng)動態(tài)行為的值。穩(wěn)定時間定義了傾斜計信號到達(dá)最終位置并保持在最終位置5%范圍內(nèi)所需的時間。

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