MEMS技術傳感器對集成電路功能要求怎么樣？
MEMS是微機電系統的縮寫。它是一種與傳感器、換能器、執行器、齒輪、泵、開關等微型設備制造相關的技術。MEMS是一種微觀集成設備，它是電子、電氣和機械元件的組合，所有這些元件使用一種稱為微系統技術(MST)的技術協同工作以滿足單一功能要求。
MEMS技術被認為是傳統集成電路（IC）制造的延伸形式。傳統IC制造技術（VLSI）和MEMS之間的主要區別在于，使用MEMS不僅可以制造電容器和電感器等電氣元件，還可以制造齒輪、彈簧、梁等機械元件。使用傳統IC技術，只能制造導體、絕緣體、二極管和晶體管。
這些基于MEMS的設備的尺寸通常為幾微米（1至100微米）。另一個需要記住的要點是，MEMS是借助先進的IC制造技術將有源和無源元件集成到單個硅基板中。有源組件是傳感器和執行器，而無源組件是無源電子系統和無源機械系統。由放大器、ADC、濾波器等信號處理電路組成的電子系統采用IC制造工藝設計，而由齒輪、曲柄、軸承等組成的機械系統采用微加工工藝設計。
傳感器的現代定義有時令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設備，可感知溫度或濕度等物理量并將其轉換為電信號。傳感器還包含信號處理單元，例如放大器、濾波器或ADC或這些元件的組合。說到MEMS傳感器，如果傳感器是使用MEMS技術設計和制造的，那么它就被稱為微機械微傳感器或簡稱為MEMS傳感器。
不同類型的MEMS傳感器
MEMS技術的主要實施者之一是汽車行業。現代汽車使用大量傳感器，其中大多數是基于MEMS的設備。以下是現代汽車中使用的MEMS傳感器列表。
·加速度計——用于電子穩定性控制和安全氣囊部署。
·慣性測量單元或IMU（它們是MEMS加速計和MEMS陀螺儀的組合）——用于測量自動駕駛的偏航、俯仰和滾動。
·磁力計——用于導航中使用的方向。
·壓力和慣性傳感器——用于制動控制。
·壓力傳感器——輪胎壓力監測系統。
·氣流傳感器——進氣監測。
·燃油傳感器——燃油液位指示器。
·碰撞和碰撞傳感器——碰撞檢測和安全氣囊部署。
·MEMS麥克風——用于通信和降噪。
·溫度傳感器——用于自動氣候控制和發動機溫度監測。
還有許多其他基于MEMS的設備可用于各種應用。
MEMS傳感器已被用于各種應用，例如控制和搬運設備、管理機器人、汽車、夾具等。您可以在現代噴墨打印機、彩色投影儀、顯示系統、時鐘和掃描設備中找到這些傳感器。
MEMS技術用于制造不同的傳感器，如壓力、溫度、振動和化學傳感器。加速度計、陀螺儀、電子羅盤等是汽車、直升機、飛機、無人機和船舶中常用的MEMS傳感器。
